アサヒ・テクノソリューションズ株式会社
 
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製品情報
製品情報
 
製品情報 ATM-125手動マスクアライナ
    装置概要
本装置はマスクのパタンを紫外線露光により基板上のレジストに
焼きつける装置です。

アライメント
左右一対のCCDカメラ顕微鏡により基板のアライメントが可能です。
アライメントは基板上のレジストがマスクに接触しない安全距離(任意)例えば50um程度で行います。

露光
アライメント後の露光は解像度を上げるためアライメントギャップより例えば20um等に基板をマスクに近づけて露光します(任意)。

解像度
プロキシミティー露光の解像度は一般的に以下の近似式で表されます(ご参考)。

R=√(gap x λ)
R: 解像度、gap:プロキシミティーギャップ、λ:露光波長(0.4um)
製品情報 LED光源ステッパー
    材料開発用小型ステッパ
特徴 コンパクト設計、二種類の投影レンズ形式、LED光源採用による経済性と使いやすさ   
・縮小投影光学系、ダイソン型1:1光学系

基本仕様
基板サイズ     :〜Φ200mm
照明光源   :LED光源(365nm)
サイズ(WxDxH):800x800x1670mm
重量       :300kgW
製品情報 卓上型高精度フリップチップボンダー ATB-150P
    研究開発から少量生産まで対応の卓上型高精度フリップチップボンダー ATB-150P
特徴
高精度ボンド±3um、コンパクト設計、オートアライメントオプション追加でセミオート稼働も可能。
仕様
ボンド荷重:3〜200N
チップサイズ:□1〜20mm
基板サイズ:最大□150mm
ヒーター:オプション、コンスタント、パルスヒート
     室温〜450℃
本体サイズ:(DWH)800x800x900mm
製品情報 組込型LED照明光源
    用途に合わせLED光源と照明レンズを一体開発

・高照度、高均一性を両立した最適設計のUV-LED照明
・テレセン(平行光)比テレセン光学系も選択可能
・複数レンズを並べて超広域照明装置を実現可能
・照明エリア、形状(四角、六角、丸)も選択可能
・照明光の波長も自由に選択可能
・LED光源は照明監視機能付き、各種エラー検出が可能
・各種制御、冷却方式にフレキシブルに対応
製品情報 各種光学系の設計製作
    用途に合わせた光学設計を受託致します。製作も可能です。先ずはご希望をお問い合わせください。

・投影レンズ
・対物レンズ
・接眼レンズ
・表示用レンズ
・計測器紅用レンズ
等々
製品情報
   
製品情報
製品情報
 
製品情報 ATM-125手動マスクアライナ 製品情報 LED光源ステッパー
 
装置概要
本装置はマスクのパタンを紫外線露光により基板上のレジストに
焼きつける装置です。

アライメント
左右一対のCCDカメラ顕微鏡により基板のアライメントが可能です。
アライメントは基板上のレジストがマスクに接触しない安全距離(任意)例えば50um程度で行います。

露光
アライメント後の露光は解像度を上げるためアライメントギャップより例えば20um等に基板をマスクに近づけて露光します(任意)。

解像度
プロキシミティー露光の解像度は一般的に以下の近似式で表されます(ご参考)。

R=√(gap x λ)
R: 解像度、gap:プロキシミティーギャップ、λ:露光波長(0.4um)
材料開発用小型ステッパ
特徴 コンパクト設計、二種類の投影レンズ形式、LED光源採用による経済性と使いやすさ   
・縮小投影光学系、ダイソン型1:1光学系

基本仕様
基板サイズ     :〜Φ200mm
照明光源   :LED光源(365nm)
サイズ(WxDxH):800x800x1670mm
重量       :300kgW
製品情報 卓上型高精度フリップチップボンダー ATB-150P 製品情報 組込型LED照明光源
 
研究開発から少量生産まで対応の卓上型高精度フリップチップボンダー ATB-150P
特徴
高精度ボンド±3um、コンパクト設計、オートアライメントオプション追加でセミオート稼働も可能。
仕様
ボンド荷重:3〜200N
チップサイズ:□1〜20mm
基板サイズ:最大□150mm
ヒーター:オプション、コンスタント、パルスヒート
     室温〜450℃
本体サイズ:(DWH)800x800x900mm
用途に合わせLED光源と照明レンズを一体開発

・高照度、高均一性を両立した最適設計のUV-LED照明
・テレセン(平行光)比テレセン光学系も選択可能
・複数レンズを並べて超広域照明装置を実現可能
・照明エリア、形状(四角、六角、丸)も選択可能
・照明光の波長も自由に選択可能
・LED光源は照明監視機能付き、各種エラー検出が可能
・各種制御、冷却方式にフレキシブルに対応
製品情報 各種光学系の設計製作 製品情報
 
用途に合わせた光学設計を受託致します。製作も可能です。先ずはご希望をお問い合わせください。

・投影レンズ
・対物レンズ
・接眼レンズ
・表示用レンズ
・計測器紅用レンズ
等々
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